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FFU凈化單元的說明及特點
發布時間:2020-03-16
FFU(Fan Filter Unit)是風機和過濾器的組合,也可稱為“自帶風機的過濾設備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風末端,一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風機模塊,下面部分為過濾器。根據潔凈度的要求,過濾器可為不同等級的高效(HEPA)或超高效(ULPA)過濾器,為潔凈室提供潔凈空氣。風機模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力,還要克服整個循環風所有通道部件的阻力,從而維持設定的運行風速。FFU系統具有設計施工簡便,風速調節靈活,潔凈區易于變更等特點,因此已成為工業潔凈室的流行系統形式之一
該機組設計整體靈活,便于與專用型吊頂骨架以及其他一些合適的骨架配合使用。當過濾器采用刀邊型框架時,這種機組也可用于液槽密封吊頂骨架,根據設計的規格,他可輕而易舉配合任何吊頂骨架,達到潔凈等級要求。外框可選用鋁質或不銹鋼,各具特色。采用這種機組,可以為潔凈室輸送高質量的空氣,而且空氣流通好。它適合用于半導體、電子、平板顯示器和磁盤驅動器的廠家及光學、生物工業及其他對空氣中污染有嚴格控制要求的地方。
一般萬級無塵室所用的高效過濾器,它能對空氣中粒徑為0.3um的微粒子過濾效率達到99.99%,出風風速0.4m/s,最大不能有超過20KG以上的外力作用于過濾器上,以免破壞過濾器組織架構。


FFU的特點:

第一:靈活性。
因為FFU是自帶動力的,它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里,可根據需要,分區控制。而且,隨著半導體生產工藝的變化,廠房布局必然要作相應調整,FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
第二:可再利用性。
從理論上講,一時不用的FFU設備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負壓通風。
這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里,使得密封變得很簡單而且安全。
第四:縮短建設周期。
使用FFU省掉了風管的制作和安裝,因為風管在潔凈工程中,占掉很大的建設周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為了一種可能。
第五:減少運行成本。
雖然在選用FFU時,初期投資要比使用風管通風高,但它在后期運行中,突出的表現出節能、免維護等特點。
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